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真空泵机组定子系统与气流的耦合作用

点击次数:?? 更新时间:2018-12-03 17:51?? ??来源:http://www.jlfoundry.com/ 【关闭
           真空泵机组气流的运动形态对泵的抽气性能可能也有一定的影响而是在沿z轴的不同截面处被带到螺旋槽中真空泵机组同样也有少部分螺旋槽的气体会在运动过程中进入间隙区域。理论上来说转子-定子间的间隙越小真空泵机组因此对其进行分析,有利于进行转子-定子的结构设计和优化显示了抽气流道内的气流运动轨迹,对同一流道沿z轴的三个区域分别标定为a、b和c,且在区域a处进行三维流线的放大显示。显然气流在沿螺旋道运动过程中,流线经历了由稀疏到稠密的过程,越往高真空段,越集中于凸台侧壁,因此侧壁附近的压力要大于同一x-y截面的其他地方,这就用流线的疏密程度来定性地说明了中所研究的同一流道在不同截面处高低压之比的变化规律。由于抽气末端的凸台侧壁存在流线集中的现象,可以考虑在流道的设计中采用变宽度螺旋槽的方法,即在末端逐步减小凸台高度和槽宽,一方面这有利于在保证抽速的情况下增大压缩比,另一方面起到气流背压的作用。
         此外在气流入口处,凸台顶尖的存在使得流线发生一定的拐弯,从另一个层面来讲,这种结构会减少进入螺旋道的气流量,因此可以考虑将进气口的凸台顶尖用圆角过渡。以区域a的速度矢量图为例,可以发现大部分气体分子沿着螺旋槽往出气口运动,小部分则由凸台与转子的间的间隙往外走,说明牵引分子泵存在间隙泄露问题从区域a的三维流线图来看,间隙的存在并不会使得进气口h’区域的气流直接沿着间隙空间往出气口运动,则同样尺寸的螺旋槽可实现的压缩比越大,受加工制造水平的限制,零间隙并不可能达到,只能尽量取小。区域,气体分子运动速度越大,在稀薄的空间,气体间的碰撞较少主要是螺旋槽的牵引作用带动气体分子运动实现抽气,基本成分子流态由于外螺旋槽定子的仿真模型设置及结果处理与内定子类似这里不再赘述。

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