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爪型无油机械水环式真空泵

点击次数:?? 更新时间:2018-02-05 20:13?? ??来源:http://www.jlfoundry.com/ 【关闭
          水环式真空泵爪型泵的工作过程所示,当两个爪型转子由(a)转至(b)位置时,A腔中的气体被压缩并排气,B腔容积变大正在吸气水环式真空泵当转子转至(c)位置时,C腔体积为最小,B腔变为最大,即吸气终了。爪型泵转子形状复杂,加工较难,动平衡麻烦,需要多级串联才能有较大的压缩比。目前这种泵的极限压力为1~10Pa,抽速为2~50L/s。北京领帆真空科技有限公司生产的爪型泵的型号和技术参数螺旋型无油机械真空泵比螺杆泵的转子型线简单,一般为单头矩形螺旋线,可采用等螺距或变螺距的转子。这种泵有立式和卧式两种结构,抽气原理是相同的。
         被抽气体从泵口进入泵腔,在泵腔内被高速旋转的转子压缩,矩形断面的转子之间、转子与泵腔之间形成螺旋密封,间隙小,泄漏少,可得到较高的压缩比。由于它的螺旋圈数多,比螺杆型无油泵压缩比高涡旋泵有两种形式,一种是一个涡旋固定不动,另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转,这是公转型;另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型,它的两个旋涡都是动涡旋。公转型多为双腔卧式泵,常规选泵的办法是根据工艺过程需要的真空度选择泵的种类,根据放气量选择泵的抽速。而在真空电子技术领域里选择真空泵还应该考虑环境的清洁、工艺过程、反应气体的种类、反应产物的粒度等问题。以无油机械真空泵的选择为例,如果反应生成物中含有颗粒,就不应该选用表面接触类型的泵。

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